·优秀的性能整体式缺体结构,具有更高的精度,经验证的旋片技术,使性能更加稳定,确保系统具有更高的可靠性 ·良好的散热风冷结构,无需外接水冷箱,减少系统安装和维护成本 ·强制润滑内置齿轮泵及恒压供油机构强制供油,高吸气压强下也能稳定可靠运行 ·多档气镇设计满足不同客户的真空度要求和水蒸气的处理能力