·分辨率／重复精度为0。1μm/0。4μm 时，精度可高达(1。1+0。6L/600) μm。·确保垂直度(前部) 达5μm，直线度达4μm。·全／半空气浮动系统可调节气垫高度。·带有基本统计功能， 另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC 软件的电脑相连可实现外部测量数据评估。·半自动测量时具有单键操作功能。·通过Digimatic 工具实现数据输入